相干激光申请具有改进的光束均匀性和稳定性的准分子激光器专利, 模糊谐振器的输出光束中的精细结构

发布日期：2026-02-06 09:09    点击次数：198

国家知识产权局信息显示，相干激光系统有限公司申请一项名为“具有改进的光束均匀性和稳定性的准分子激光器”的专利，公开号CN121420433A，申请日期为2024年5月。

专利摘要显示，一种准分子激光器(100)，包括用于容纳线性激光谐振器(102)的后端(120)和前端(130)之间的气体混合物的腔室(110)、限定后端(120)的凸面端镜(122)以及共同限定前端(130)的多个输出耦合镜。输出耦合镜沿着谐振器(102)的光轴(190)分布，并且具有指向后端(120)的相应法向矢量(nR和nF)。法向矢量(nR和nF)包括四个相互不平行的法向矢量，其中四个相互不平行的法向矢量中没有三个是共面的。输出耦合镜的这些不同取向与凸面端镜(122)协作以模糊谐振器(102)的输出光束(182)中的精细结构。

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